1. 特气柜(gas cabinet)

2. 特气柜尺寸：800长×540宽×1800高

3. pn2入口压力 80psi，1/4 vcr接口

gn2入口压力 80psi，1/4 vcr接口

cda入口压力 4-10bar，1/4卡套接口

vent 1/2vcr接口

工艺气体出口1/4 vcr接口

4. 特气柜柜体换气量:sih4-1200次/小时，其余300次/小时

5. 根据实际需要可安装称重、报警、加热装置

6. 按操作方式分为：手动切换、半自动切换。

7. 阀门盘配件全部采用进口电子级材料，材质为ss316l不锈钢。

8. 气体管路及焊接件加工全部采用swagelok自动轨道焊机焊接。

9. 气体管路设计合理，具备抽空、回充、压力指示、排放、检漏、预留接口等。

10. 完善的安全报警装置，具有气体泄漏检测报警（如sih4、ph3、hcl等泄漏报警）报警信号被触发时，自动切断。

11. 气瓶柜设计美观，紧凑，安全，，可按照客户要求定制。

特气柜主要应用在 为mocvd、pecvd、刻蚀机等设备供应有毒有害易燃易爆气体上，涉及半导体、太阳能光伏、生物工程、微电子、化工等行业。

我们的特气设备有：电子级特气柜(gascabinet或称钢瓶柜、气瓶柜)，气体流量控制箱(gas box by mfc),气体配比箱(gas box by flowmeter)，阀门箱（vmb）,阀门盘（vmp），气体侦测器（gasdetector），废气处理设备(scrubber)。我们的产品有：美国parker调压阀、fpa接头，日本jsk卡套接头，日本fujikinvcr接头，高纯kuze/asflowba/ep不锈钢管，高纯nks压力表，气体压力传感器，气体压力开关，高纯parke富士金隔膜阀，高纯气体过滤器， 气体质量流量计。

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